近年來真空泵運用的發(fā)展壯大，真空泵的種類現(xiàn)已發(fā)展壯大了好多，其泵效從每秒鐘0：升到每秒鐘十余萬和上百萬升。近年來真空設(shè)備在制造和科研各個領(lǐng)域中對其運用壓力強度區(qū)域的標準愈來愈寬，大部分要由幾個真空泵組合成真空吸氣體系一起吸氣后才能夠達到制造和科研流程的標準，基于真空運用相關(guān)部門所涵蓋的工作的壓力的區(qū)域很寬，故此其他1種類別的真空泵都難以根本應(yīng)用于任何的工作的壓力區(qū)域，也只能按照不一樣的工作的壓力區(qū)域和不一樣的工作標準，運用不一樣類別的真空泵。

結(jié)構(gòu)特點

在較寬的壓力范圍內(nèi)，有較大的抽速;轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對稱性，因此振動很小，運行平穩(wěn)。轉(zhuǎn)子之間和轉(zhuǎn)子之間都有間隙。無需潤滑，摩擦損失小，可以大大降低驅(qū)動功率，從而實現(xiàn)更高的轉(zhuǎn)速;泵腔不需要油密封和潤滑，可以減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染;泵腔沒有壓縮，也沒有排氣閥。結(jié)構(gòu)簡單緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感。壓縮相對較低，對氫氣抽氣效果較差;轉(zhuǎn)子表面是形狀更復(fù)雜的曲線柱面，加工和檢查相對困難。

機械選擇：

真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程和環(huán)境有影響，如果工藝過程不允許，應(yīng)選擇無振動的泵或采取防振動措施。

了解抽氣體的成分，氣體中不含可凝氣，顆?；覊m或腐蝕性等，選擇真空泵時，需要知道氣體成分，并選擇相應(yīng)的泵進行抽氣體。氣體中含有蒸氣，顆粒和腐蝕性氣體，應(yīng)考慮在泵進氣口管中安裝輔助設(shè)備，例如冷凝器，除塵等。

真空泵在工作壓力下，應(yīng)能夠在真空設(shè)備工藝過程中排出所有氣體，以產(chǎn)生恒定的氣體量。

正確組合真空泵。由于真空泵具有選擇性抽氣，因此有時選擇泵不能滿足抽氣要求。有幾種泵可以組合并相互補充以滿足抽氣要求。例如，鈦升華泵具有很高的氫抽速，但不能抽氦，而三極濺射離子泵具有一定的抽速，并且兩者的組合會使真空裝置獲得更好的真空度。此外，有些真空泵不能在大氣中工作，并且需要預(yù)真空。有些真空泵出口的壓力低于大氣壓，需要前級泵，因此需要將泵組合使用。

真空設(shè)備對油污染的要求，如果設(shè)備嚴格要求無油，應(yīng)選擇各種無油泵，例如：水環(huán)泵，分子篩吸附泵，濺射離子泵，低溫泵等。如果要求不嚴格，可以選擇有油泵，并添加一些防油污染措施，例如冷阱，障口，擋油陷阱等，也可以達到清潔真空的要求。